耐熔合金的蚀刻加工方法

时间:2013-5-4 作者:dlz0099 分享到:

耐熔合金的蚀刻加工方法
耐熔合金主要有妮(柯)、钥、钮和钨等。这些金属及其合金的最一般的蚀刻液是由硝酸和氢氟酸棍合组成。可能的反应有:
Nb +5HF +5HN03一 NbF5 +5N02 +5H2O ?(5一79)
Mo + 6HF + 6HN03一 MoF6 +6N02 + 6H20 ?(5一80)
Ta +6HF +4HN03一 HT2aF, +4N02 +4H2O ?(5一81)
W +6HF +6HN03一 WF6 +6N02 +6H20 (5一82)
金属蚀刻加工速度的稳定,一则通过对硝酸和氢氟酸比例的配合,二则通过对选择的温度来控制一个合适的金属蚀刻速率。

 

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