酸一碱二步法纹理蚀刻纹理太哑的故障原因及处理方法

时间:2015-4-9 作者:dlz0099 分享到:

酸一碱二步法纹理蚀刻纹理太哑的故障原因及处理方法

故障原因:

①酸性抛光液中H3 P04浓度太低
②酸性抛光液中HNO3浓度太低
③酸性抛光沮度太低,抛光时间不够
④喊性抛光沮度太低,抛光时间不够
⑤酸性抛光液中H2 SO4浓度太高

处理方法 :

①添加H3P04
②添加HN03
③通过实验确定最佳酸性抛光时间及抛光沮度
④通过实验确定最佳碱性抛光时间及抛光沮度
⑤添加H3 PO4

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